备填补国白添利端刻中再珠海造高国芯内空蚀设器

“中國(guó)芯”再添利器！中國(guó)芯5月23日，再添珠海造高珠海恒格微電子裝備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）在珠海高新區(qū)舉行全國(guó)首臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”發(fā)布會(huì)。利器該設(shè)備的端刻成功面世，標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大技術(shù)突破，蝕設(shè)為芯片制造國(guó)產(chǎn)化替代注入強(qiáng)勁動(dòng)能。備填補(bǔ)國(guó)白

?自主創(chuàng)新破壟斷 核心技術(shù)獲突破

國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”，內(nèi)空是中國(guó)芯恒格微電子歷時(shí)三年多技術(shù)攻關(guān)的成果。該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，再添珠海造高具備高效率、利器高均勻性、端刻高兼容性的蝕設(shè)特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、備填補(bǔ)國(guó)白第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，內(nèi)空適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。中國(guó)芯其核心工藝指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端刻蝕設(shè)備空白，將顯著降低晶圓廠對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全升級(jí)。

珠海高新區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任薛飛在致辭中表示，恒格微電子從PCB設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域龍頭成長(zhǎng)為半導(dǎo)體裝備新銳，充分展現(xiàn)了珠海硬科技企業(yè)的創(chuàng)新韌性與擔(dān)當(dāng)，希望恒格微電子持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)，為粵港澳大灣區(qū)打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地貢獻(xiàn)力量。

?聚焦創(chuàng)新基因 ?產(chǎn)學(xué)研協(xié)同發(fā)力

發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，恒格微電子與電子薄膜與集成器件全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室簽署深度產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，雙方將圍繞半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)、專業(yè)人才培養(yǎng)等領(lǐng)域開展戰(zhàn)略合作。電子科技大學(xué)代表表示，此次合作將加速高?？蒲谐晒D(zhuǎn)化，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備技術(shù)迭代提供智力支持。

恒格微電子還與國(guó)內(nèi)顯示面板龍頭企業(yè)達(dá)成了工藝合作開發(fā)協(xié)議，雙方將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用，加速面板行業(yè)核心裝備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。同時(shí)，恒格微電子與三疊紀(jì)公司也達(dá)成了戰(zhàn)略合作，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為國(guó)產(chǎn)裝備貢獻(xiàn)力量。

共話產(chǎn)業(yè)未來(lái)?

在主題沙龍環(huán)節(jié)，恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)與研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人、客戶代表及投資機(jī)構(gòu)代表圍繞產(chǎn)品研發(fā)歷程、市場(chǎng)前景及行業(yè)趨勢(shì)展開深度對(duì)話。

李志強(qiáng)表示，等離子多驅(qū)解離技術(shù)是恒格十年磨一劍的成果，目前已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段。未來(lái)將持續(xù)加大研發(fā)投入，打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

?從珠海啟航 向全球進(jìn)發(fā)

據(jù)了解，總部位于珠海市高新區(qū)的恒格微電子成立于2005年，深耕等離子技術(shù)領(lǐng)域近20年，其PCB等離子清洗設(shè)備市場(chǎng)份額穩(wěn)居國(guó)內(nèi)前列。

近年來(lái)，恒格微電子瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)，逐步構(gòu)建起覆蓋研發(fā)、制造、服務(wù)的全產(chǎn)業(yè)鏈能力。此次發(fā)布的新品，是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步。

作為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主陣地，珠海高新區(qū)長(zhǎng)期把集成電路產(chǎn)業(yè)作為引領(lǐng)區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，瞄準(zhǔn)高端半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、晶圓代工和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域強(qiáng)鏈、延鏈、補(bǔ)鏈，推動(dòng)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展。目前，珠海高新區(qū)已初步形成“設(shè)計(jì)-制造-封裝-測(cè)試”全產(chǎn)業(yè)鏈體系，半導(dǎo)體與集成電路企業(yè)數(shù)量和經(jīng)濟(jì)規(guī)模位居珠海市首位。2024年實(shí)現(xiàn)規(guī)上經(jīng)濟(jì)規(guī)模達(dá)106.62億元，近5年年均增長(zhǎng)率超過(guò)20%。

接下來(lái)，珠海高新區(qū)將繼續(xù)與企業(yè)同奮斗，提供最優(yōu)政策支持、最優(yōu)載體配套、最優(yōu)營(yíng)商環(huán)境、最優(yōu)人才生態(tài)，推動(dòng)更多新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)在珠海高新區(qū)首發(fā)、推廣，打造灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)標(biāo)桿品牌，建設(shè)成為粵港澳大灣區(qū)未來(lái)“芯”高地。