半导阳公以硬科体珠海正子故事攻破难题司技卡脖i企

在珠海高新區(qū)華發(fā)大灣區(qū)智造產(chǎn)業(yè)園D區(qū)一片嶄新的現(xiàn)代化廠房?jī)?nèi)，工程師們正調(diào)試著一臺(tái)臺(tái)精密設(shè)備。這里是正陽(yáng)融合微電子技術(shù)（珠海）有限公司（下稱“正陽(yáng)”）的“大本營(yíng)”。2023年，隨著珠海工廠的投產(chǎn)，這家專注于高端半導(dǎo)體濕法設(shè)備與先進(jìn)玻璃通孔（TGV）技術(shù)研發(fā)的智能裝備企業(yè)，邁入規(guī)模化發(fā)展的快車(chē)道。近日，記者走進(jìn)正陽(yáng)，探尋企業(yè)發(fā)展“密鑰”。

技術(shù)突圍：
定制化服務(wù) 深度解決客戶需求

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)、先進(jìn)封裝技術(shù)需求爆發(fā)，設(shè)備國(guó)產(chǎn)化成為行業(yè)剛需。與此同時(shí)，新能源汽車(chē)、光伏等產(chǎn)業(yè)的崛起，推動(dòng)第三代半導(dǎo)體需求激增，相關(guān)制造設(shè)備市場(chǎng)迎來(lái)井噴?！澳柖杀平锢順O限，‘超越摩爾’技術(shù)路徑成為新賽道，這正是國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商彎道超車(chē)的絕佳窗口。”正陽(yáng)融合微電子技術(shù)（珠海）有限公司總經(jīng)理?xiàng)钫治龅馈?/p>

正陽(yáng)的底氣，源于其在智能裝備領(lǐng)域構(gòu)筑的“技術(shù)護(hù)城河”?！拔覀兊脑O(shè)備不是簡(jiǎn)單復(fù)制，而是針對(duì)實(shí)際生產(chǎn)痛點(diǎn)進(jìn)行改進(jìn)?！睏钫钢慌_(tái)立式旋轉(zhuǎn)雙面濕法設(shè)備介紹道。該設(shè)備采用雙面同步蝕刻技術(shù)，解決了傳統(tǒng)單面工藝需反復(fù)翻面的效率瓶頸。在TGV加工中，可同時(shí)處理玻璃基板正反兩面，實(shí)現(xiàn)±5%的均勻性控制，生產(chǎn)效率提升超50%。

在車(chē)間另一側(cè)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)正在調(diào)試一臺(tái)即將交付佛山客戶的誘導(dǎo)蝕刻設(shè)備。這臺(tái)全封閉設(shè)備通過(guò)特殊藥液配方，可在玻璃基板上精準(zhǔn)刻蝕微米級(jí)通孔。“我們通過(guò)不同藥液有機(jī)組合和機(jī)械臂協(xié)同控制，實(shí)現(xiàn)了一次性加工?！睏钫忉尩?，設(shè)備還進(jìn)行了防腐設(shè)計(jì)，采用PP板材質(zhì)的封閉結(jié)構(gòu)，防止腐蝕性化學(xué)藥劑外泄，同時(shí)配備自動(dòng)化補(bǔ)液系統(tǒng)，確保工藝穩(wěn)定性。

除核心誘導(dǎo)蝕刻設(shè)備外，正陽(yáng)還研發(fā)了水平式超高壓微霧清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備及等離子干法清洗設(shè)備。水平超高壓微物清洗設(shè)備通過(guò)140kg微霧分解水分子，完美解決10um細(xì)孔清洗；槽式設(shè)備則采用智能機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)高效節(jié)拍控制?！拔覀兊脑O(shè)備結(jié)構(gòu)更緊湊，能耗比同行更低?！睏钫硎尽＿@些創(chuàng)新源于研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)客戶需求的深度理解，可以根據(jù)不同客戶的需求，去定制適合他們的設(shè)備，幫助他們提升空間利用率、減少能耗等。

布局珠海：
加大產(chǎn)能 提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力

2023年9月，正陽(yáng)從深圳搬遷至珠海，僅用兩個(gè)月便完成新廠投產(chǎn)。這一決策背后，是珠海區(qū)位優(yōu)勢(shì)與政策支持的綜合考量。

“珠海工廠的投產(chǎn)對(duì)公司整體布局意義重大。”楊正朝說(shuō)，珠海工廠設(shè)計(jì)年產(chǎn)值可達(dá)2億元，極大地提升了公司產(chǎn)能與交付能力。其次，依托珠海集成電路產(chǎn)業(yè)集群，能夠快速響應(yīng)客戶的定制化需求，加速研發(fā)到量產(chǎn)的周期，進(jìn)一步提升公司的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

正陽(yáng)為何會(huì)選擇珠海作為生產(chǎn)基地呢？楊正朝給出了答案：珠海的地理優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)優(yōu)勢(shì)是關(guān)鍵。珠海的區(qū)位優(yōu)勢(shì)明顯，1小時(shí)可對(duì)接深圳、廣州的產(chǎn)業(yè)鏈資源。珠海已經(jīng)集聚了一批半導(dǎo)體材料、核心零部件等企業(yè)，客戶群就在身邊。此外，珠海還有較多的高校，具備與高校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)工作的潛力，這為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人才培養(yǎng)提供了有力支持。

珠海市投資服務(wù)署的“保姆式服務(wù)”給楊正朝留下深刻印象：“從廠房選址到政策對(duì)接，珠海市投資服務(wù)署都給予我們很多幫助，還主動(dòng)為我們對(duì)接潛在客戶，他們的高效服務(wù)讓我們深刻感受到了珠海的營(yíng)商環(huán)境優(yōu)勢(shì)?！?/p>

創(chuàng)新引領(lǐng)：
以技術(shù)突破立足 以快速服務(wù)取勝

在正陽(yáng)的研發(fā)中心，工程師們正在優(yōu)化新一代TGV設(shè)備?！拔覀冇?jì)劃支持600mm以上大尺寸玻璃基板加工，目標(biāo)良率提升至99%?！痹摴镜募夹g(shù)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人表示。

在半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的浪潮中，正陽(yáng)選擇了一條務(wù)實(shí)的發(fā)展路徑：以技術(shù)突破立足，以快速服務(wù)取勝。目前，該公司的研發(fā)人員占比超40%，已申請(qǐng)專利30余項(xiàng)，自主研發(fā)產(chǎn)品及技術(shù)100余個(gè)。

“國(guó)外設(shè)備交付周期通常半年以上，而我們平均只需三個(gè)月。”楊正朝說(shuō)。在打破壟斷的路徑上，正陽(yáng)采取了專利壁壘突破和技術(shù)替代驗(yàn)證雙管齊下的策略。公司圍繞旋轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)控制、多工藝集成等方向布局了多項(xiàng)核心專利，構(gòu)建了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系。同時(shí)，正陽(yáng)聯(lián)合頭部客戶完成了TGV工藝驗(yàn)證，設(shè)備關(guān)鍵指標(biāo)（如蝕刻速率、鍍層均勻性）超越了日本Disco、美國(guó)Applied Materials等國(guó)外同類產(chǎn)品。此外，通過(guò)本土供應(yīng)鏈替代進(jìn)口部件，正陽(yáng)的設(shè)備售價(jià)較國(guó)外低40%，服務(wù)響應(yīng)周期縮短70%。

正陽(yáng)的研發(fā)投入始終聚焦實(shí)際生產(chǎn)需求。在車(chē)間里，名為“龍蛋”的雙面電鍍?cè)O(shè)備正在進(jìn)行測(cè)試。該設(shè)備采用水平旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極設(shè)計(jì)，通過(guò)離心力與電場(chǎng)協(xié)同作用，解決高深寬比通孔鍍層均勻性問(wèn)題?！霸O(shè)備命名‘龍蛋’，寓意著突破性技術(shù)的孵化和誕生?！?/p>

“目前，我們70%的業(yè)務(wù)集中于國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，接下來(lái)計(jì)劃進(jìn)一步拓展東南亞市場(chǎng)。”這家沒(méi)有華麗營(yíng)銷(xiāo)的企業(yè)，用一項(xiàng)項(xiàng)技術(shù)突破詮釋著對(duì)“中國(guó)智造”的理解。談及愿景，楊正朝說(shuō)：“希望建設(shè)百年品牌企業(yè)，成為智能裝備領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)品牌。這個(gè)過(guò)程沒(méi)有捷徑，唯有腳踏實(shí)地攻克技術(shù)難關(guān)?！?/p>